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石英薄膜压力传感器技术

  • 文章来源:北京力诺
  • 发布时间:2018-12-03 09:33
  • 阅读人数:
  • 文章作者:力诺传感器科技
石英薄膜压力传感器

      石英薄膜压力传感器以石英晶体作为敏感元件,其主要成份是二氧化硅,二氧化硅的密度为2.65×103kg/m³,莫氏硬度为7,熔点高达1750℃,难溶于水,长期稳定性能好,石英晶体具有较高的机电耦合系数,线性范围宽,重复精度高,滞后小,无热释电效应,动态特性优良,振动频率稳定,是其它材料难以替代的。

      根据石英晶体的压电效应、压电逆效应等原理制成的石英薄膜压力传感器有着精度高、灵敏度好、测量范围宽、品相迅速、数字输出等独特的优势。由于晶体是频率控制元件,本身就能达到数字化(以频率的方式输出),当绝对频偏与被测含量呈线性关系时,其数字化处理既简单又方便,且输出数字量稳定可靠,易与计算机接口,有利于二次仪表的数字化。数字量与模拟量相比,具有抗干扰性强,适宜于远距离传输,消除了模拟数字转换这一复杂环节及其造成的误差。由于石英晶体还具有短稳频率与长稳频率的优良特点,石英薄膜压力传感器分辨率可提高几个数量级,减少了对石英薄膜压力传感器的校准次数。
      北京力诺采用国际先进的纳米薄膜技术将石英晶体与钛合金弹性材料膜片有效的结合在一起,石英晶体上熔焊应变敏感电桥,在压力的作用下,钛合金测量膜片产生微形应变,该形变使电桥输出发生变化,变化的幅值与被测压力成比例。电桥电路将电桥的失衡信号,转换为电压信号输出。石英晶体有着非常好的弹性和绝缘特性,不会发生滞后、疲劳和蠕变现象,对温度变化不敏感有着很好的工作特性,抗辐射特性强。另外,石英晶体敏感元件无温度漂移,可应用于各种复杂环境场合。
T15石英薄膜压力传感器

石英薄膜压力传感器产品特点:

◆压力测量范围宽(-0.1 MPa~300MPa)
◆温度测量范围宽(-45℃~+125℃/150℃/200℃/300℃可选)
◆高精度,高稳定性;
◆重量轻,性价比高;
◆抗振动、耐腐蚀;
◆抗辐射性极强;

石英薄膜压力传感器应用领域:

◆航空航天发动机测试系统;
◆自动控制及检测系统;
◆液压、船舶、柴油机行业;
◆医药卫生、生化、发酵检测系统;
◆水利水电、电厂、炉膛正负压力测量;
◆天然气加气机及其它需要小型压力测量的行业;

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